在超声波马达问世之前，实际上已有利用压电材料振动特性来驱动的压电马达，惟其频率并不限于超声波的范围。早在1948年威廉和布朗就申请了「压电马达」的美国专利;1961年宝路华钟表公司研制出音叉驱动的手表;1970~1972年西门子和松下两公司发展出线型压电步进马达，不过因为无法达到较大的输出力及效率，所以当时并没有普遍地应用。

1973年美国IBM公司的巴特(H.V. Barth)，首次提出利用压电组件以超声波振动的方式来驱动的马达，但因为磨耗上的问题，和之前的手表案例一样，仅发表出来而没有实际上的应用。几乎同时，俄国人V.H. Lavrinenko也设计了一些驱动原理相同的马达结构;1978年瓦西里耶夫(P.E. Vasiliev)则是利用超声波转换器作为马达的驱动来源，不过都没有发展出完整的马达结构。

1980年日本指田年生(Toshiiku Sashida)研制出以振动片驱动的超声波马达，具有较完整的马达结构。至此，以压电材料产生超声波振动来驱动马达的概念就开始慢慢地发展起来。虽然因为磨耗以及温度上升等问题，使得这些超声波马达仍然没有实际的应用，不过已具有高精度、低速高转矩等特色。

直到1982年，指田年生又发展出一种新型的超声波马达驱动方式，在设计上已经考虑到磨耗的改善，这才是第一个真正达到具有商业应用价值的超声波电机。